Игорь Житяев - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Название: Игорь Житяев - Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Автор: Игорь Житяев
Описание: В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и
